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使用氣相沉積爐時(shí)需要特別注意哪些事項(xiàng)
發(fā)布時(shí)間:2023-02-09   瀏覽:3381次

  使用氣相沉積爐時(shí)需要特別注意哪些事項(xiàng)

  使用氣相沉積爐時(shí)需要特別注意以下幾點(diǎn)。大家一起看看吧。

  1、模具一般由用戶自備,模具材料基本采用高純石墨,其耐壓極限為40MPa。建議用戶在30MPa以下使用,加壓前計(jì)算模具上、下沖頭面積,換算成壓力。具體公式如下:系統(tǒng)允許加壓(噸)=上或下沖頭面積30MPa

  2、熱電偶為鎢錸型,使用后變脆,不能接觸。破損時(shí)請(qǐng)立即更換。其型號(hào)為W2型。

氣相沉積爐

  3、冬季要注意氣相沉積爐循環(huán)水的保溫問題。否則容易發(fā)生自來水管破裂。

  4、使用后爐體應(yīng)保持真空,爐內(nèi)保溫層容易受潮,保持真空下次抽真空會(huì)更快。

  5、設(shè)備復(fù)雜,建議專人使用,專人負(fù)責(zé),嚴(yán)格對(duì)初學(xué)者進(jìn)行使用前培訓(xùn),有使用后檢查、操作使用記錄等設(shè)備使用規(guī)定。

  6、氣相沉積爐也可作為真空燒結(jié)爐使用。用于真空燒結(jié)爐時(shí),請(qǐng)注意在爐內(nèi)放置坩堝后,合上保溫板蓋后,不要忘記合上其中的小蓋。容易燒毀電爐。

  7、操作前觀察窗玻璃清潔,清掃爐內(nèi)壁,觀察水壓情況,觀察爐內(nèi)石墨有無損傷,開機(jī)后觀察儀表顯示是否正常,測(cè)試液壓系統(tǒng)是否正常工作。

  8、氣相沉積爐使用一年后,應(yīng)將儀器送計(jì)量部門校準(zhǔn)。

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        1、請(qǐng)參閱附圖提供的真空爐烘箱配置。安裝位置和民用條件為,選擇設(shè)備的***安裝位置并進(jìn)行土建施工。安裝地點(diǎn)必須無煙,環(huán)境清潔,風(fēng)干,不應(yīng)與其他設(shè)備放在一起,保持環(huán)境溫度在10至35°C之間,地板光潔。   2、安裝帶有石墨和水冷電極的電加熱元件時(shí),   采取石墨部件時(shí)要非常小心,以免損壞;   灣可靠地?cái)Q緊螺栓以實(shí)現(xiàn)良好的電氣接觸。不要用太大的力來防止線頭斷裂。   3、根據(jù)真空系統(tǒng)圖放置真空系統(tǒng),組裝并連接到爐體。組裝時(shí)在O形圈上涂抹一層薄薄的真空潤(rùn)滑脂,并均勻擰緊法蘭。   4根據(jù)水冷系統(tǒng)示意圖,進(jìn)水管和排水管分別連接到爐子的排水口、,以提供壓力為0.1-0.15 MPa的水源,溫度不高低于15℃且不高于30℃,優(yōu)選提供循環(huán)。水、抗氧化水。   5、提供***小壓力為0.5 MPa的氣動(dòng)空氣源。工業(yè)氮?dú)猓鐗嚎s空氣,可用于制備“三大”氣動(dòng)部件(如、油霧、減壓器濾水器)。   6、按下充氣系統(tǒng)圖將管道連接到灌裝線,建議提供純度為99.99%-99.99%的高純度氮?dú)庾鳛樵俟嘧⑵鳌?  7、根據(jù)電接線圖,將電源連接到相應(yīng)的電觸頭,檢查電壓電源,連接在控制箱,電纜和流漿箱和身體之間烤箱。   8、安裝剩余的組件,包括導(dǎo)管測(cè)量?jī)x器、。   9。爐體和、控制箱接地,接地電阻為4歐姆,儀表電纜和真空表也必須接地。