氣相沉積爐設(shè)備特點(diǎn)是什么　　氣相沉積爐適用于化學(xué)氣相沉積法制備碳-碳復(fù)合材料，也可用于以碳?xì)錃怏w（如C3H8等）為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理，或以三氯甲硅烷（MTS）為氣源的材材料料表面抗氧化涂層、基體改性等。　　裝料方式有上裝料、底裝料、臥式三種裝料方式。該氣相沉積爐設(shè)備特點(diǎn)如下：　　1.多通道沉積氣路，流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；　　2.采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)范圍?。弧　?.氣相沉積爐設(shè)備自動(dòng)化高，關(guān)鍵執(zhí)行電氣件采用進(jìn)口；操作直觀、簡(jiǎn)便，觸摸屏經(jīng)過開發(fā)，可動(dòng)態(tài)顯示爐子運(yùn)行狀況并具有自我診斷功能，程序段可直接輸入?！　?.采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)。

　　真空燒結(jié)爐主要是用來(lái)處理金屬材料的。很多金屬材料都是通過高溫來(lái)加工或作其他生產(chǎn)。那么，是否有某一類金屬材料不能在真空爐中熱處理呢? 　　從理論上講，金屬材料都可以在真空燒結(jié)爐中熱處理。但因技術(shù)要求、加工成本、工藝實(shí)現(xiàn)的難易程度等原因，下列材料(工件)不宜在真空爐中熱處理。 　　1.高溫對(duì)N元素敏感，易形成有害效果的材料。真空爐為防止合金元素高溫時(shí)揮發(fā)，通常在高溫下充高純氮?dú)獗３址謮?，冷卻時(shí)一般采用充氮冷卻。故該類材料不宜用真空爐處理。 　　2.碳素鋼。從成本角度考慮，碳鋼價(jià)格較低，成品件價(jià)格較低，用真空燒結(jié)爐處理實(shí)屬浪費(fèi)，除非高利潤(rùn)工件或者工件已經(jīng)沒有加工余量，對(duì)表面質(zhì)量要求苛刻時(shí)的權(quán)宜之計(jì)。 　　3.某些使用特殊工藝的材料(工件)。比如為獲取好的機(jī)械性能，有些工件要求獲得貝氏體，一般用等溫淬火來(lái)實(shí)現(xiàn)，真空燒結(jié)爐很難實(shí)現(xiàn);再如T10鋼，要求高硬度、低變形，一般用水淬油冷工藝實(shí)現(xiàn)，真空爐雖然可以用高壓氣淬獲得高硬度，但因在Ms點(diǎn)以下溫度冷速較快，變形較大。 　　好了，總結(jié)的以上三種材料就是不宜在真空燒結(jié)爐中處理的金屬材料了。