氣相沉積爐的優(yōu)勢有哪些　　氣相沉積爐為沉積爐主體內(nèi)有加熱室，水冷電極，測溫熱電偶，是處理工件的核心部分。下面是關于爐子優(yōu)勢介紹?！　‰娮锠t可采用多溫區(qū)獨立控溫，溫度均勻性好；　　氣相沉積爐采用智能壓力調(diào)控，壓力波動??；　　全封閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強；　　多通道工藝氣路，流程均勻，無沉積死角，沉積效果好；　　多級尾氣處理系統(tǒng)，環(huán)境友好，能很快收集焦油及副產(chǎn)物，易清理；　　氣相沉積爐可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng)，降溫時間短，生產(chǎn)效率高。

　　行業(yè)內(nèi)的知道，真空燒結爐廣泛應用于陶瓷、碳化硅、硬質(zhì)合金材料、光電鍍模材料和石墨純化的真空燒結處理，在使用真空燒結爐中要進行維護保養(yǎng)，只有做好保養(yǎng)才可以更長久地使用。 　　如果真空燒結爐的網(wǎng)帶為頂針網(wǎng)帶，請用砂紙等打磨頂針端，以防止對電池片的劃傷，如果是斜角網(wǎng)帶，則在轉速100情況下低速烘烤，以鏟除有機物。燈管感染有機物，請當心用酒精棉或無紡布擦洗。各傳動件如果出現(xiàn)限位不準、控制失靈、卡位等現(xiàn)象時，應該立即停止，不要強行進行操作，以免損壞機件。 　　一定要知道真空燒結爐的腔體內(nèi)部要清潔作業(yè)，需求注重各氣孔有無阻塞。有機排和熱排的清潔作業(yè)，請用酒精清潔設備上的有機物等。爐體上的密封結構，真空系統(tǒng)等零部件拆裝時，應用酒精或汽油清洗干凈并經(jīng)過干燥后，涂上真空油脂再組裝上。停爐后，爐內(nèi)必需保持在66.5LPA以下的真空度。 　　另外，真空燒結爐的真空泵，閥門，測量儀器，熱工儀表，電氣元件等配套件，都必須按照產(chǎn)品的技術說明使用、維修以及保養(yǎng)。維修操作應在不通電的情況下進行。如果在帶電情況下進行維修時，必須由***的維修人員進行維修，同時確保人身及設備的***安全。 　　真空燒結爐鋁板點焊機機械傳動件應定期加油或換油保養(yǎng)。